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钛酸铜钙(CaCu_3Ti_4O_(12),CCTO)最初以优良的介电性能获得了人们广泛地重视。随着研究的深入,其明显的非线性电流-电压(I-V)特性也逐渐受到关注,相比于传统压敏材料,CCTO具有阈值电压低、非线性系数高等优点,能很好地满足当前集成电路对压敏电阻的要求,是一种很有前景的功能性材料。本文以溶胶-凝胶(sol-gel)法制备CCTO的前驱体溶液,结合旋涂技术制备CCTO薄膜。使用X射线衍射(XRD)检测薄膜物相成份,通过场发射扫描电子显微镜(SEM)来观察表面形貌,使用半导体参数分析仪