【摘 要】
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近年来,随着激光技术、电子技术和计算机技术的发展,发明了一种实时提取干涉图信息、直接测量波面位相分布的波面位相探测新技术,使光学非球面元件的面形测试精度大大提高,并
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近年来,随着激光技术、电子技术和计算机技术的发展,发明了一种实时提取干涉图信息、直接测量波面位相分布的波面位相探测新技术,使光学非球面元件的面形测试精度大大提高,并且实现了波面的实时显示.该文研制了一套测量非球面面形的相移剪切干涉装置,面形检测精度:0.1μm.文中讨论了测量装置的整体方案,运用相移剪切干涉测试技术,对相移横向剪切干涉图进行了实时采集及处理,得到被测波面的一维波差分布图.用UML面向对象建模语言为非球面测试软件建立了数学模型,并在此基础上用VisualC++6.0开发工具开发了面向对象的C++应用程序,具有高效的面向对象的图形用户界面,好学易用,直观而且友好.
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