【摘 要】
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针对直拉法硅单晶炉热场部分和拉晶部分炉体,研究一种高反射红外辐射涂料和一种高吸收红外辐射涂料。高反射涂料应用在热场中石墨保温筒内表面,使加热器辐射到石墨保温筒表面的热量部分反射回加热空间,用这种反射涂料代替或减少原来石墨毡保温材料。高吸收涂料应用在拉晶上炉体内表面,使硅单晶凝固过程中放出的热量迅速吸到上炉体内表面,由炉体内循环水把热量导出,从而加大单晶硅棒上的温度梯度,提高凝固速率与质量。通过对选
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针对直拉法硅单晶炉热场部分和拉晶部分炉体,研究一种高反射红外辐射涂料和一种高吸收红外辐射涂料。高反射涂料应用在热场中石墨保温筒内表面,使加热器辐射到石墨保温筒表面的热量部分反射回加热空间,用这种反射涂料代替或减少原来石墨毡保温材料。高吸收涂料应用在拉晶上炉体内表面,使硅单晶凝固过程中放出的热量迅速吸到上炉体内表面,由炉体内循环水把热量导出,从而加大单晶硅棒上的温度梯度,提高凝固速率与质量。通过对选出的材料反射率与吸收率的实验,找出了反射率较高的反射涂料与吸收率较高的吸收涂料的主料配方。
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