直流溅射法制备YBCO带材研究

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【摘要】

：

YBCO高温超导带材具有优异的电学性能,它具有在外场下临界电流高,交流损耗低以及成本较低等优点,在工业应用中有非常大的潜力,所以各国都投入了巨大的人力物力进行研究。直流溅射具有方法简单、易于控制以及工艺重复性好等特点,本文基于直流溅射法研究了Y2O3种子层薄膜的制备工艺,并且在制备有Y2O3/YSZ/CeO2 (YYC)缓冲层的镍钨合金(Ni-5at.%W)基带上制备YBCO涂层导体进行了研究,还

【作者】

：

肖山

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2010年04期

【关键词】

：

直流溅射涂层导体平面靶钉扎中心

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