光学薄膜折射率和厚度测试技术及研究

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论文在综合了国际上光学薄膜折射率和厚度不同测试方法的基础上,采用可变角椭圆偏振法来实现和建立国防系统的光学薄膜折射率和厚度最高标准。 可变角度的光谱椭偏仪(VASE)是一种测量光学薄膜折射率和厚度的仪器,它对于新材料和新过程的研究是一种强有力的技术手段。大多数研究应用需要复杂的设备和软件来采集和分析VASE数据,然而只使用软件也可实现用VASE进行常规测量。本文简述了可变角椭圆偏振法的基本原理及各种测量方法的比较,说明可变角光谱椭偏仪(VASE)可测定什么、数据分析的理论以及VASE分析的重点,详细给出了VASE在工业中的一些典型应用以及测量的不确定度及重复性分析和实例。 这一最高标准的建立,实现了光学薄膜折射率和厚度测试仪的计量检定和量值统一,大大提高了我国光学薄膜折射率和厚度的测试和计量水平,是我国的光学薄膜折射率和厚度计量达到国际先进水平。
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