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本文采用两种不同的工艺方法(人工涂覆、浸渍提拉)来制作ZnO气敏传感器,并对气敏元件进行溶液处理,还在实验室自主研发的2008型DZB智能测试系统上测试了它的基线电阻和对甲烷气体的敏感性能。同时采用场发射扫描电镜法和X射线衍射法对传感器的气敏膜上的ZnO形态进行了分析,并探讨了纳米ZnO形态对甲烷气敏性能的影响。采用人工涂覆工艺将两种不同形态的纳米ZnO粉末成膜并制作成传感器,对其进行甲烷气敏性能测试,所得到的测试结果表明:由四针状纳米ZnO制得的传感器对甲烷气体的敏感性能要优于颗粒状纳米ZnO制得的传感器。这两种传感器对甲烷气体的灵敏度都是随着甲烷浓度的升高而增大,峰值温度在370℃左右。采用浸渍提拉工艺将三种不同的混合溶液(锌溶胶、四针状纳米ZnO甲醇悬浊液和四针状纳米ZnO乙二醇悬浊液)在元件上成膜并制作成传感器,所得到的测试结果表明:这三种传感器对甲烷气体的灵敏度也是随着浓度的升高而增大,峰值温度也是在370℃左右,同时大大改善了传感器的一致性。为了进一步提高传感器对甲烷气体的灵敏度,采用溶液处理工艺在已沉积了纳米ZnO晶种层的元件表面上可控生长出不同形态的纳米ZnO。将该元件制成传感器并对其气敏膜做了SEM测试以及对甲烷的敏感性能测试。结果表明:水热处理后,传感器的基线电阻减小且对甲烷气体的灵敏度普遍提高,一致性也较好。随着溶液中锌离子浓度的升高,通过水热晶种生长法合成的纳米棒逐渐长大但密度降低,其制作的传感器基线电阻降低,对甲烷气体的灵敏度也减小;随着水热时间的延长,通过水热晶种生长法在ZnO晶种层上合成的ZnO纳米棒逐渐长大但密度减小,其制作的传感器基线电阻降低,对甲烷气体的灵敏度也减小。采用水热晶种生长法合成的ZnO纳米片,降低了传感器的基线电阻,并降低了其最合适工作温度。