高分子电阻型薄膜湿度传感器——元件构造、老化机理、感湿机理探讨

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本文以聚苯乙烯磺酸钠(NaPSS)、苯乙烯—马来酸酐共聚物钠盐(Na-SMA)等为湿敏材料,在小型叉指金电极上成膜,制备了高分子电阻型薄膜湿敏元件。 研究了湿敏材料对元件响应特性的影响,发现Na-SMA具有响应快,湿滞小的特点,其与NaPSS以一定比例复合,可制得灵敏度高、湿滞小、感湿范围宽的湿敏元件。研究不同保护层材料对元件响应的影响,发现选择适宜的保护层材料可提高元件的高湿稳定性。讨论了溶液组成,浸渍时间等元件制备工艺参数对响应特性的影响。 发现电极结构对于元件响应特性有一定影响。采用多孔结构基片材料有利于降低元件阻抗,增强湿敏膜与基底的结合能力从而提高元件稳定性。提出不同结构叉指电极阻值大小可由特征值A的大小判断,A=mln[2.55(1+W√/WJ)],A值越大,电阻越低。而增加电极中心线间距离可提高元件的耐老化性能。 初步探讨元件老化机理,提出对元件进行高湿电老化时,湿敏膜中存在溶解效应、通道效应以及离子破坏效应。老化提高元件稳定性是基于通道效应的不可逆性。合适的老化条件为:施加电压200 mv,1KHz,24~48h,38℃,81~87%RH。 采用复阻抗谱分析法,研究元件感湿机理,认为NaPSS湿敏元件感湿机理为离子导电,其电导随湿度的变化可由改进的Onsager方程描述。 制得的湿敏元件与国外同类元件相比,具有线性度较好、测湿范围宽等优点。并初步开展了应用研究,合作开发了智能温湿度计。
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