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磁性薄膜的应用越来越广泛,使得人们更加关注薄膜的磁性能表征。在磁性薄膜的很多应用中,其薄膜的厚度变得越来越薄,使得薄膜磁特性参数的测量变得越来越困难。本文首先针对传统测量方法在测量膜厚很薄样品时的困难,研究了基于反常霍尔效应的测量方法。在硬件方面,研究和设计了总体方案,其中,采用基于PCI总线的数据采集卡完成磁场数据的获取和传送,采用高精度电流源和纳伏表获取反常霍尔电压数据,通过GPIB接口传送。在软件方面,选用LabView虚拟仪器编程平台,研究和设计了数据实时滤波、曲线调理和特征参数提取