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微位移驱动技术是当今世界各国研究的热点问题,是纳米测量及加工技术中的关键技术之一,随着科学技术的发展,需要高精度、高分辨力、能够灵活控制的微位移驱动及检测系统,用以直接进行有关工作或配合其它仪器设备完成高精度的研究和应用,正是这些需要,极大地促进了微位移驱动定位技术的发展。角位移驱动定位技术的需求也越来越广泛,在许多领域迫切需要大行程高分辨力的角位移驱动定位系统,以实现高精度的定位。课题对角位移驱动定位及检测技术进行了探索,通过研究角位移驱动定位及检测技术的发展现状,在总结前人经验的基础