随着科学技术的迅速发展,航空技术也成为了重点发展领域。航空与国防之间已经密切相关。目前飞行速度的急剧增大导致了机体不同部位温度的迅速增大,传统的热防护以及低可探测材料已经受到了越来越多的限制,因此迫切需要开发一种新型材料满足高温应用需求。YSZ（氧化钇稳定氧化锆）材料体系由于具有较为优良的高温电导率,热导率低,在热防护以及隐身涂层材料等方面都具有良好的应用,并且具备多功能涂层体系的应用潜力。当YSZ涂层材料厚度达1mm时,其在雷达波段的透过率仅有25%,但当厚度小于4um时,其透过率无限接近100%,为了利用其高透特性,实现雷达波段多频谱隐身兼容,因此研究了YSZ薄膜材料的红外波段特性。本文通过磁控溅射制备YSZ薄膜样品,探究不同工艺点对薄膜样品红外反射特性的影响,并通过后续的热处理以及复合沉积来探究红外性能的改变情况,其主要工作内容如下:1.本文通过磁控溅射的方法,从制备过程中的溅射气压,沉积功率以及沉积温度等多角度对制备后的YSZ薄膜样品进行了结构、电学性能以及红外性能的测试与表征,研究了不同工艺条件下YSZ薄膜样品红外辐射特性等。2.本文通过改变热处理温度以及热处理时间两种方式来探究温度对YSZ薄膜样品性能的影响情况,并发现高温下的热处理会相较于常温有更大的反射率,另一方面热处理时间的延长并未对其红外反射率产生明显的影响。3.本文通过探究ZrB₂薄膜样品得到制备工艺点,然后通过多层薄膜制备工艺制备了YSZ-ZrB₂双层复合薄膜,研究了最顶层YSZ薄膜厚度对复合薄膜的红外辐射特性的影响,并通过改变热处理温度寻找到了复合薄膜热处理温度临界点。