【摘 要】
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该文首先论证了激光陶瓷划片的可行性.分析了氧化铝陶瓷的理化性能及其难加工的原因,提出了激光加工热稳定性和激光加工难易性的概念,建立了激光加工的理论模型,同时分析了各
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该文首先论证了激光陶瓷划片的可行性.分析了氧化铝陶瓷的理化性能及其难加工的原因,提出了激光加工热稳定性和激光加工难易性的概念,建立了激光加工的理论模型,同时分析了各种工艺参数的选择原则.简述了陶瓷划片系统中的激光器系统、导光系统、控制系统等组成部分的功能及性能特点.设计了导光系统.分析了扩束镜、圆偏振镜、聚焦镜等导光系统的功能和设计原则,给出了设计结果.重点讨论了伽利略离焦扩束望远镜,利用ABCD分段计算法则,推导了其最大扩束比及远场发散角压缩比.最后用ZEMAX光学软件模拟了整个导光系统的光路图,绘出了聚焦镜焦平面的光斑大小及能量、像差分布图.设计了两种不同类型的射频激光调制器,分析了各自的电路组成和工作原理.分析和讨论了激光划片的各种工艺参数,利用数值分析的方法模拟了各种工艺参数对激光划片的影响.实际测量了重复频率、脉冲宽度、划片速度、保护气体压力、离焦量对划片深度、宽度和热影响区的影响.
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