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本文研究了直流辉光等离子体放电特性,研究了电极间距、电压、放电电流、气压等放电参量的关系及对等离子体状态的影响,建立了CVD方法制备碳纳米管的工艺。通过扫描电子显微镜、透射电子显微镜测试分析,研究了碳纳米管的生长特性。研究了工艺条件对碳纳米管的场发射的影响。
直流辉光放电PCVD方法制备碳纳米管及场发射特性研究
【摘 要】
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本文研究了直流辉光等离子体放电特性,研究了电极间距、电压、放电电流、气压等放电参量的关系及对等离子体状态的影响,建立了CVD方法制备碳纳米管的工艺。通过扫描电子显微
【出 处】
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吉林大学
【发表日期】
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2004年期
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