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静电喷射法是近年逐渐发展起来的新型纳米材料制备工艺,其应用范围十分广泛,尤其在传感器领域日益成为研究热点。与旋涂、化学气相沉积等方法相比,静电喷雾法沉积的敏感薄膜具有很大的比表面积,可降低探测器的探测极限、提高灵敏度。但应用电喷法沉积薄膜,其表面形貌及传感器性能受多个实验因素制约如外加电压、溶液浓度、接收距离、流速控制。针对以上问题,本文的主要工作是:(1)采用静电喷雾法在硅片上制备了PVDF薄膜,实验发现随着溶液浓度的增加,PVDF薄膜的厚度线性增加。当溶液浓度为0.05wt%时,薄膜