【摘 要】
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该文提出了两类新颖的MEMDAC,其基本原理和电路中的权电阻断模转换器类似.一类是权刚度数模转换器（WSDAC）,它们利用梁的刚度作为比例因子,从而实现数模转换.另一类是权间隙数模
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该文提出了两类新颖的MEMDAC,其基本原理和电路中的权电阻断模转换器类似.一类是权刚度数模转换器（WSDAC）,它们利用梁的刚度作为比例因子,从而实现数模转换.另一类是权间隙数模转换器（WGDAC）,它利用限位器设定的执行器阵列移动的范围大小不同实现比例因子.该文提出MEMDAC还可以应用于频率的调节,并设计了一种静电流驱动数字可调微机械谐振器（DTMR）.DTMR利用MEMDAC作为频率调节单元,其谐振频率由数字驱动电压调节.该文提出了一种新方法,利用两层多晶硅电极构成电容传感器.该文提出了用热执行器或MEMDAC驱动的可变电容器,并提出用电极阵列获得pF数量级的电容.为了提高品质因子（Q值）,提出了一种由三组电极组成的高Q值可变电容器.
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