【摘 要】
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本文给出了垂直于薄膜与基底交界面并且裂纹的尖端达到了交界面情形下的薄膜裂纹问题的分析。在基于Beuth理论的基础上，把模型简为平面应变问题，并通过应用有限元分析程序评
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本文给出了垂直于薄膜与基底交界面并且裂纹的尖端达到了交界面情形下的薄膜裂纹问题的分析。在基于Beuth理论的基础上，把模型简为平面应变问题，并通过应用有限元分析程序评价了具有裂纹的薄膜-基底结构的断裂机理，得到了薄膜与基底不同的弹性错配及薄膜与基底的不同的厚度比率对薄膜裂纹的应力强度因子的影响。
本文还研究了薄膜-基底结构的一种特殊情况，薄膜与基底无弹性错配(即单一材料)时的断裂行为分析，并与以前Y.Murakami得到的结论进行对比，给出了对深裂纹问题时，Xia与Hutchinson应力强度因子的计算公式的修正，而对于浅裂纹时Xia与Hutchinson得到的结论是不适用的。
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