虚光栅移相莫尔条纹法是一种对静态干涉图的处理方法。对一幅加有载频的待测干涉图,通过程序生成四幅移相参考干涉图,分别与被测干涉图叠加后形成四幅莫尔条纹图,使用移相算法对这四幅移相干涉图进行处理,提取其中的波面信息,对此波面进行消倾斜处理后就能得到待测干涉图的波面。本文介绍了测量空气扰动的常用方法,并对空气扰动的干涉测量方法的原理进行了探讨。对虚光栅移相莫尔条纹法的原理进行了深入研究,根据该原理编写了处理干涉图的部分软件,包括虚光栅的生成,莫尔条纹的生成,相位解包,波面消倾斜等。通过实验,定量分析了在ZYGO干涉仪上,干涉腔长不同时和对光路不同局部加温的情况下,干涉腔空气扰动对测量结果的影响。定量分析了在红外干涉仪上,干涉腔长不同,对光路局部加热以及光路受烟雾影响等情况下,干涉腔空气扰动对测量结果的影响。