晶体管射频激光电源具有工作电压低、体积小、效率高、寿命长等优点，是百瓦级射频板条激光器的首选电源。选用大功率晶体管作为射频电源的放大器件，可以有效减少功放模块的数量，使电源结构更紧凑、可靠性更高。本论文分析了射频激光电源的原理与结构，以大功率晶体管作为主要放大器件对射频电源的功放模块进行了仿真设计，完成了射频激光电源带负载实验。本论文的主要研究工作有：(1)分析讨论了电子管电源与晶体管电源的优缺点，根据射频板条CO2激光器的需求，选择晶体管激光电源作为本文的研究与设计对象，确定了晶体管射频激光电源的主要输出参数，设计了晶体管射频激光电源的整体结构，其核心部件由前级激励模块和末级功放模块等组成。(2)设计了前级激励模块。设计的前级激励模块由一个能产生微弱固定频率的射频信号的晶振、一个一级100mW放大电路、一个二级5W放大电路、一个三级300W放大电路以及前级功率分配电路等组成，并利用Multisim软件对前级激励模块的放大电路进行了仿真设计。(3)设计了末级放大器和末级合成器。晶体管射频激光电源的8kW功放模块由八个末级放大器和一个末级合成器组成，每个末级放大器电路采用了1kW大功率LDMOS功率放大晶体管，并通过ADS(Advanced Design System)软件对末级放大电路进行了仿真设计。(4)进行了射频电源功率检测的实验研究。采用射频板条CO2激光器和假负载作为负载进行实验，并对射频电源的功率输出特性进行了分析。