由微纳加工技术融合机械、光、电、磁等技术为一体的微机电系统（Micro–Elcetro-Mechanical-Systems, MEMS）是近几十年兴起的研究热点领域。由于其具有功耗低、体积小、灵敏度高等特点，被广泛应用于航空航天、生物医学、微探头和环境监测等领域。微光机电系统（MOEMS）是光学与微机电技术结合而产生的MEMS技术的一项重要分支，其中光学MEMS传感器在微光机电系统中实现信息获取、信息处理以及信息执行等多种功能。因此，研究光学MEMS传感器的特性测试对于工程应用具有一定的实用价值。本文主要是针对一种电热驱动形式的MEMS微镜性能测试系统及驱动特性的研究。这种驱动方式的微镜相比于其它驱动方式的微镜具有驱动电压小、扫描范围宽等优点。它在光学相干断层扫描技术（OCT）、微显微镜和微投影设备等方面显示出很大的应用前景。首先分析了电热驱动形式的MEMS微镜国内外研究背景和发展状况；然后针对双S结构电热驱动形式的MEMS微镜进行了力学分析，并探讨了其温度补偿方法；最后提出了基于Labview自动测试软件平台、嵌入式技术、光学检测技术相结合的性能测试方案，并实现了对MEMS微镜主要特性进行测试。系统设计包括软件设计和硬件设计两方面。系统硬件是由微处理器STM32F103VET6、驱动模块、滤波模块、电压放大模块、PSD光电位置检测模块、数据采集模块和通信模块等组成。软件部分包括嵌入式软件和人机交互软件，嵌入式软件使用MDK4.0集成开发环境，人机交互软件采用虚拟仪器测试技术，充分利用Labview软件强大数据分析功能。人机交互软件实现了数据自动采集、数据分析处理和数据保存等功能。通过系统调试运行后实现了对MEMS微镜的驱动电压和偏转角度关系、频率响应特性、电阻特性性能参数的测量。