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以日本Panasonic公司HIT太阳电池为代表的晶硅异质结太阳电池是目前光伏技术的研究热点之一。很多研究机构都致力于其工艺优化和新结构的研究。近日，日本Panasonic公司汲取背接触太阳电池结构的优点制备了新型HIT太阳电池，获得了商业规格(143.7cm2)下高达25.6%的光电转换效率，刷新了长达15年之久的晶硅太阳电池世界纪录。本文研究了本征a-SiOx:H薄膜对晶硅表面的钝化作用，提出了双层发射极结构的晶硅异质结(DLE-SHJ)太阳电池，并对其进行了理论模拟与实验验证。研究发现：