电力系统不断向特高压、大电网和智能化方向发展，六氟化硫气体绝缘开关以其优良的性能得到了广泛应用。当六氟化硫气体中水分含量达到一定程度时，一方面会发生化学反应，生成毒性物质；另一方面会发生绝缘闪络，使开关的绝缘性能与灭弧性能受到很大影响，直至设备无法使用，甚至造成安全生产事故。　　 本文论述了六氟化硫断路器内微量水分在线监测的原理和方法问题，阐述了六氟化硫气体中微水监测的重要意义。描述了湿度测量的基本理论，并推导出了各种湿度表示方法之间的换算关系。　　 本文在对六氟化硫气体微水含量在线监测中可能采用的各种传感器进行比较的基础上，着重研究了聚酰亚胺高分子电容式湿度传感器的材料特性、感湿机理、制作工艺等。分析了湿度标定的各种方法，利用饱和盐溶液法制备了相应的标定装置，对传感器进行了标定。试验表明该湿度传感器能够用于六氟化硫气体微水在线测量。　　 本文选定了六氟化硫气体微水含量在线测量的三个特征量：相对湿度、温度和压力。研制了一种六氟化硫开关微水在线测量仪，进行了硬件与软件的设计，并通过了试验验证。通过各种湿度度量值之间的换算关系，可以计算出电力系统常用的湿度度量值：露点温度、绝对湿度、体积比和质量比，通过比较分析，判断水分含量是否超标。