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为适应灵活性、快速性、简便性的控制要求,多年来国内外科技界和工业界就一直致力于研究各种新型微电机。其中,超声波电机利用压电陶瓷的逆压电效应,将材料的微观形变通过共振放大和摩擦耦合转换成转子或滑块的宏观运动。它作为一种直接驱动电机从20世纪80年代以来备受各国科研工作者的青睐,已成为当前机电控制领域的一个研究热点。本文首先分析超声波电机的运行机理,确立行波型超声波电机定子表面质点椭圆运动轨迹的形成,对行波式超声波电机建立数学模型。然后对测控系统进行设计。本文所设计的超声波电机测控系统具备以