【摘 要】
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随着CMOS器件尺寸的成比例缩小，作为存储介质的栅氧层的厚度也在不断的减小，栅漏电成为低功耗和便携用非易失性存储器和CMOS逻辑电路所面临的严峻问题。当栅氧层的厚度减小到3纳米以下时，无论从栅氧层的电学特性还是从其可靠性的角度来看，都出现一些新的现象。例如，多晶硅栅电极的耗尽效应(poly depletion effect)使得降落在栅氧层的有效电压减小，量子效应(quantum effect)更
【机 构】
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中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
【出 处】
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中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）
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随着CMOS器件尺寸的成比例缩小，作为存储介质的栅氧层的厚度也在不断的减小，栅漏电成为低功耗和便携用非易失性存储器和CMOS逻辑电路所面临的严峻问题。当栅氧层的厚度减小到3纳米以下时，无论从栅氧层的电学特性还是从其可靠性的角度来看，都出现一些新的现象。例如，多晶硅栅电极的耗尽效应(poly depletion effect)使得降落在栅氧层的有效电压减小，量子效应(quantum effect)更加明显，使得载流子分布不再符合传统的麦克斯韦统计分布规律。电容-电压(C-V)法提取的栅氧层电学厚度(e
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