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回转式精密合成碳膜电位器阻体线性修刻技术研究旨在提高电位器的线性精度和修刻系统的修刻速度。本文在研究国内外修刻技术的基础上,通过分析精密合成碳膜电位器的修刻工艺特点,结合修刻系统的功能需求,完成了合成碳膜电位器修刻系统的关键技术的研究。具体包括以下工作:1通过分析系统的功能需求,完成了软件系统的整体规划。并对其中的主要模块进行了分析,介绍了其实现的方法。2分析电压分布规律运用数学知识,结合数控技术的研究,找出并消除了系统的干扰,完成了精密回转式合成碳膜电位器阻体修刻技术的一项