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随着激光技术的迅速发展,对光学系统中光学元件质量要求越来越高。当激光照射到光学元件表面时,其表面粗糙度对光束的散射损耗随照射光强度的增强呈指数增长,严重影响光束的能量集中度,同时会降低视场范围内的成像对比度,光学元件表面微观形貌引起的光散射损耗特性受到越来越多的关注。基于光散射的双向反射分布函数(BRDF)检测方法是一种便捷、精确的表面微观形貌的无损检测方法。通过对散射光信号的采集、分析与处理,探索光学元件表面微观形貌与光学散射特性之间的变化规律,该方法为建立更全面的表面微观形貌的散射法的理论体系奠