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磁电复合薄膜是由磁致伸缩材料和压电材料复合而成的功能薄膜,具有磁电效应大、居里温度高等优点,是一种可以将电能、磁能和机械能相互转化的智能材料。通过控制输入和监测输出的电场或磁场可用它实现某些传感或驱动功能,在微电子和机械等领域具有良好的应用前景。现有的磁电复薄膜主要有层状复合和基于压电陶瓷的颗粒复合两种形式。其中,前者是把磁致伸缩薄膜和压电薄膜分层复合到一起,而后者是将磁致伸缩颗粒和压电陶瓷颗粒烧结在一起或者用基体将二者粘结起来。然而,这两种形式的磁电复合薄膜有刚度大、韧性差、耐久性差、介电