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随着微表面三维形貌检测技术与表面精细加工技术的不断发展,近年来在精密加工与检测的领域中,对精密元器件的微观表面三维形貌的测量精度要求越来越高。微表面形貌的检测技术与方法有很多,其中基于光学干涉原理发展起来的检测技术有着非接触、精度高、稳定性强等优点。但微表面形貌的检测技术目前仍大多处于实验室的研究、测试阶段,能够工程化并投入市场的较少,且价格大多较为昂贵。因此对具有高测量精度并且工程化的微观表面形貌的三维检测系统的研究,不仅具有科研意义,更具良好市场前景。本文基于剪切干涉原理、偏振移相干涉原理,采用