【摘 要】
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生物刻蚀加工是利用微生物代谢过程中一些复杂的生化反应来去除基体上的多余材料,加工出其它微细加工方法不能得到的微小结构.该课题对这种方法进行了探索性的基础理论研究,
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生物刻蚀加工是利用微生物代谢过程中一些复杂的生化反应来去除基体上的多余材料,加工出其它微细加工方法不能得到的微小结构.该课题对这种方法进行了探索性的基础理论研究,在生物加工机理、刻蚀剂培养、试件预处理和掩模版制备、生物刻蚀几方面给予了详细的论述.经过多次系统的实验和分析,对这种加工方法进行了深入的研究,得到如下结论:(1)用该法加工出微小结构,表明利用微生物刻蚀工程材料制作微小三维结构的 方法是可行的.(2)制作基体表面抗蚀膜图形时,被加工面光洁度是影响图形质量的重要因素, 要求表面粗糙度Ra<0.025μm,并且基体的平面度不大于λ/4.(3)在微生物生长的稳定阶段形成了物质循环,使生物氧化剂的浓度基本维持不 变,因此生物刻蚀金属的深度(或重量)与刻蚀时间成线性关系.(4)被加工材料的材质优劣严重影响微细结构的加工质量.(5)光刻工艺是微生物刻蚀加工得到微小结构的基础工艺.
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