微机电系统指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。近几十年来,基于微机电系统制造出来的微流量计由于其体积小、可靠性高、功耗低等诸多优点得到了深度的研究,人们已经做了大量的工作来优化性能。流量计的期望是价格合理、性能可靠,具有很高的测量精度。到目前为止,各种类型的流量计已被开发出来,在航空领域、临床手术、建筑工业、汽车制造等多个领域都有相关的流量计得到使用,发挥着它们的功能。其中热感式微流量计凭借着它简单的结构和可靠的性能,在市场上的占有率已经较高。为了更好的了解热感式微流量计,本文对其内部流动和温度分布做了分析,也希望能通过数值仿真找到能进一步提高其灵敏度和拓宽量程的方法。本文第一章介绍了国内外关于微流量计的研究进展及其相关技术,随着人们的不断研究,微流量计的灵敏度不断提高,响应进一步的加快,量程也在不断拓宽,应用的领域也在逐步扩张。第二章分析了连续性假设对于微通道流体的适用性,介绍了流体的三大守恒方程及其它相关方程,简单介绍了量热式微流量传感器的工作原理和电路原理。第三章为设计几何模型,利用软件依次进行建模、网格划分、求解设定、仿真模拟。本文根据各种条件的不同,进行了大量的数值模拟,最后使用后处理模块进行数据结果分析,从中得出一些结论。通过数值仿真,本文研究了入口边界条件为0～165 SCCM（standard-state cubic centimeter minute每分钟标准状况下的毫升数）下流体通道内部的情况。第四章为数据结果分析,发现在0～2 SCCM的流速范围内,热扩散的作用对其的影响是最大的。进一步增大流速后,通道骤扩处会出现一个越来越大的脱流涡,它会造成局部换热的降低,导致温差对流速的线性响应遭到破坏,使之成为一个非线性的响应。当流速超过75 SCCM时,粘性耗散开始出现,并逐渐对响应造成影响。第五章旨在寻找更好的仿真数据来提高微流量计的性能,通过改变模型的设计进行了一系列的尝试。首先为了验证热源温度的设置是否合适,对不同的热源的温度进行了仿真分析。其次是将原模型中的单桥改为双桥,发现大流量下热子和探子会随着流体的快速流动而产生振动,而双桥的结构其稳定性明显高于单桥。接着是改变热子和探子间的距离,推测随着热探子间的距离的缩小,微流量计的量程会缩小,当热探子间的距离小于某一数值时,流量计就会失去作用。最后是在上游探子前添加障碍物,发现在这种情况下,在0～75 SCCM范围内的上游温度高于无障碍物时的模型。最后,对本文的研究内容进行了简单的总结,分析了本文在研究过程中可能会存在的一些问题,对微流量传感器接下来的发展进行了一定的展望。