【摘 要】
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太阳电池的转换效率的提高一直是太阳能光伏行业研究的热点，在太阳电池表面形成减反射膜是提高其转换效率的有效途径之一。目前太阳电池减反射膜在实际应用中主要采用等离子体化学气相沉积法制备的SiNx减反射膜，但生产过程中由于使用硅烷气体而存在安全隐患，采用磁控溅射法能避免上述问题的出现并在低温环境下制备得到非晶的SiNx薄膜；另外，由于双层减反射膜的减反效果明显优于单层减反射膜，且SiC薄膜在太阳电池窗口
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太阳电池的转换效率的提高一直是太阳能光伏行业研究的热点，在太阳电池表面形成减反射膜是提高其转换效率的有效途径之一。目前太阳电池减反射膜在实际应用中主要采用等离子体化学气相沉积法制备的SiNx减反射膜，但生产过程中由于使用硅烷气体而存在安全隐患，采用磁控溅射法能避免上述问题的出现并在低温环境下制备得到非晶的SiNx薄膜；另外，由于双层减反射膜的减反效果明显优于单层减反射膜，且SiC薄膜在太阳电池窗口层中已有广泛应用，具有良好的光学、力学性能、抗辐射性能和钝化能力，将它们用作双层减反射膜材料并研究其组织
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