本论文用直流磁控溅射技术制备了零磁致伸缩三元合金NiFeCo和非磁性金属Ag组成的颗粒膜，研究了离子注入、磁性组分、退火温度对NiFeCo/Ag颗粒膜巨磁电阻效应和磁性的影响；用四探针法和振动样品磁强计分别对薄膜的巨磁电阻效应和磁性进行测试；用X-射线衍射对颗粒膜晶体结构进行分析；用卢瑟福背散射对薄膜成分进行分析；用场发射电镜、原子力显微镜和磁力显微镜分别对薄膜表面和截面形貌及磁畴结构进行观测。研究表明： 自行设计制造且具有特殊磁场分布的RFMS—4溅射仪制备颗粒膜和多层膜工艺技术稳定可靠，在优化工艺条件下能保证薄膜成分与溅射速率的稳定性。 未经离子注入的NiFeCo/Ag颗粒膜最佳退火温度为300℃，最佳磁性相原子百分比为36％，室温下获得的最佳巨磁电阻值为5％（饱和场为7.6KOe），4.2K下获得巨磁电阻效应最大值为19％。 NiFeCo/Ag颗粒膜经Fe离子注入后，未经退火即有2.3％的巨磁电阻效应，室温下最大巨磁电阻效应为9％（饱和场为10KOe）。而经Co离子注入后，未经退火即有巨磁电阻值5.5％，室温下最大巨磁电阻效应高达9.8％，这是迄今国际上用离子注入技术制备巨磁电阻薄膜获得的最佳结果。 注入Co离子对颗粒膜巨磁电阻效应增大的贡献超过注入Fe离子，在较低温度下退火尤其明显。 注入Fe、Co离子后，颗粒膜最佳磁性组分没有变化，但最佳退火温度变为360℃。离子注入后的颗粒膜存在一个临界增强扩散退火温度。当退火温度超过此温度后，增强扩散效应更加明显，磁性相与非磁性相分高明显，巨磁电阻值迅速提高。注入Co离子的颗粒膜的临界增强扩散退火温度约为320℃。