本文以大连化学物理研究所的高功率氧碘化学激光器激光腔镜为研究对象，分析在强激光辐照作用下的激光腔镜吸热发生的热变形现象。相变制冷技术作为迅速发展的交叉学科被引入激光领域，用于解决这类热变形问题。它具有明显的优点，但有关这一方面的理论和应用研究，还很不完整和成熟。本文综观现有的文献资料，设计制作一个有孔阵列空腔结构的、并填入特定相变材料的试验镜和一个作对照的实体铜镜，并就此进行理论与实验研究。本文探讨了在快速的高功率激光作用下，傅立叶导热定律有可能不适用的置疑，并在传统的导热微分方程的基础上建立导热和相变数学模型，引用了较流行的有限元法进行数值分析，明确求解温度场的一般思路。本文选用大型的有限元通用软件ANSYS，分别对制作的实体铜镜和相变制冷镜进行温度场和热变形计算，并在大连化物所激光实验室进行实测，取得的实验数据与计算结果对比基本一致，二者均证实了装入相变材料能达到一定的制冷效果和有效改善热变形。本文首次提出运用ANSYS软件对相变制冷激光腔镜进行数值计算仿真，实验验证了模型的正确，对进一步研制高性能的相变制冷镜，在腔镜镜体材料选择，内部结构优化，相变材料开发等方面具有十分重要的指导意义。