近年来柔性显示技术发展迅猛,如曲面屏、折叠屏等柔性显示产品逐渐成为平板显示产业的宠儿。在柔性显示的新应用场景下,平板显示的核心器件薄膜晶体管（Thin-Film Transistors,TFTs）可能因拉伸机械应力而引起器件电学特性的退化,从而影响显示产品的性能和可靠性。非晶铟镓锌氧化物（Amorphous Indium Gallium Zinc Oxide,a-IGZO）是广泛应用于平板显示器件的有源层材料,具有较高的载流子迁移率,同时在大尺寸面板的制造中表现出良好的均一性。本文对柔性非晶铟镓锌氧薄膜晶体管在多种频率动态拉伸机械应力下可靠性进行研究,研究其退化规律与内在机制,具有重要的理论意义和应用价值。本文调研了现有文献中拉伸机械应力对薄膜晶体管的影响的相关工作,发现频率这一变量是在薄膜晶体管可靠性研究中一直被忽视的一个重要影响因子。为了实现对频率变量的研究,结合现有的柔性薄膜晶体管的样品形态,本小组自主设计了能够实现多种频率实验条件的柔性片状材料拉伸测试设备。该设备能够实现最高拉力50N、最高频率4Hz条件下对柔性片状材料稳定循环10万次以上的动态拉伸实验。本文对柔性a-IGZO TFT样品进行的多种拉力与频率条件下的动态拉伸实验表明,施加动态拉伸机械应力后,TFT器件的退化形式主要表现为普遍的开态电流下降,造成器件开关特性损坏。部分器件还伴随着关态电流明显上升,器件完全失效。本文对器件进行了小、中、高频率的拉伸实验,结果表明器件呈小频率轻微退化,中频率退化有所提升,高频率显著退化的退化特征。本文提出了不同拉力和拉伸循环次数下的器件退化与频率依赖方程,为器件质量和寿命预测提供了支撑。本文结合拉伸实验后的样品器件在显微镜下的裂纹分布情况将裂纹分为金属线裂纹、沟道裂纹、接触孔裂纹三种。根据不同裂纹器件的电学特性表征分析了不同裂纹对器件的影响,完善了退化模型,为进一步改善器件可靠性提供了理论支撑。