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钛酸锶钡(BaxSr1-xTiO3, BST)作为典型的钙钛矿结构材料,其介电常数随外加直流偏压变化而发生改变,具有很强的非线性,利用该性质可制成钛酸锶钡薄膜介质变容管。将具有调谐性的钛酸锶钡薄膜介质变容管应用于微波电路中可增加电路的适应性、有效减小电路体积等。在Al_2O_3陶瓷基片上制备的钛酸锶钡薄膜介质变容管有益于与微波电路集成化和微型化,可在微波可调匹配网络等电路中有很好的应用。应用于微波电路的钛酸锶钡变容管需要钛酸锶钡薄膜具有较高的介电可调率、较低的介电损耗。本论文对陶瓷基片上制