【摘 要】
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该文提出了用虚拟现实技术实现微电子机械快速原形设计的思想.就是在计算机产生的虚拟环境中,用三维图形学制造出微电子机械器件的虚拟原形;再用面向对象的编程方法将此原形
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该文提出了用虚拟现实技术实现微电子机械快速原形设计的思想.就是在计算机产生的虚拟环境中,用三维图形学制造出微电子机械器件的虚拟原形;再用面向对象的编程方法将此原形作为一个对象赋予它微电子机械器件应具有的运动学特性,动力学特性及材料特性;而后在其所处虚拟环境中赋予微电子机械器件所处运行环境的特性.该文的主要研究工作:1.建立了基于虚拟现实系统的MEMS辅助设计系统框架;2.分析了MEMS制作的工艺过程,实现了计算机虚拟工艺过程;3.设计了MEMS虚拟组装环境系统;4.研究了一个典型MEMS器件——微泵的运行过程,并以此为例实现了MEMS的虚拟运行系统;5.提出并描述了面向对象的MEMS元件库系统.
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