【摘 要】
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该文共分为五个部分:首先,我们对测量薄膜的各种方法作了大致介绍,给出椭偏术作为一种被广泛采用的强有力的测试手段的原因;并以椭偏术的应用作了简单的介绍.其次,我们详细剖
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该文共分为五个部分:首先,我们对测量薄膜的各种方法作了大致介绍,给出椭偏术作为一种被广泛采用的强有力的测试手段的原因;并以椭偏术的应用作了简单的介绍.其次,我们详细剖析了椭圆偏振测量理论,并针对具有正交线性本征偏振态的光学系统从理论上详细推导了消光椭偏术的基本原理;提出了具体的测量方法及消光方案.在第三部分中,我们采用Levenberg-Marquart算法对椭偏数据进行数据拟合,利用Visual C++语言进行了椭偏数据处理的软件开发,给出了数据处理过程的流程.第四部分介绍了实验前的准备工作,详细介绍了实验中用到的各光学元件,给出了测量的具体方案及操作步骤.第五部分首先给出了利用I-Elli2000的测量结果,并将其作为标准,与我们的椭偏测量结果进行了比较.
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