扫描式电感测微仪测头因其测量精度高、量程大、安装使用方便,而在CNC齿轮测量中心、触针式轮廓仪、圆度仪、圆柱度仪及几何形位误差测量中心等精密量仪上广泛使用.然而,以往人们对电感测微仪的研究仅限于其静态性能,随着其应用领域的扩大及测量效率的提高,测微仪测头由以往测量静态或准静态信号扩展到测量动态信号,这就对测头的动态响应性能提出了要求.测微仪测头在测量工件时属于接触式测量,它存在的主要问题是当接触式测头快速扫描工件时,被测信号的迅速变化可能会使测头脱离工件,这样测头的输出信号就不能正确反映被测信号的真实情况.因此,找出测头的测量临界脱离频率、分析影响临界频率的因素,并以此来改善测头的动态响应性能是研究接触式测头动态测量特性的关键内容,对于提高其测量效率和测量精度具有很强的实际意义.该文以平行簧片式测微仪测头的结构为例,建立了测头在动态扫描测量时的数学模型.并对其动态响应性能进行了深入地理论分析.同时,研制出了测头动态性能测试试验台,对测头的动态特性进行了系统的实验测试,并对测量结果进行分析处理,绘制出实际的响应曲线,且与理论分析结果一致.