广义的太赫兹(THz)一般是波长范围从3mm到30um的电磁波频谱,频率范围从100GHz到10THz,包括毫米波(30~300GHz)中的较高频部分,整个亚毫米波段(300GHz至3THz)以及红外波(从3THz至可见光)中的低端。太赫兹频段发现了许多潜在的应用:地球表面和大气的遥感,宽带高数据速率室内(例如智能家庭)和短距离室外无线通信,以及用于安全,医疗和其他目的的成像。作为太赫兹信号直接探测系统的关键部件,检波器的功能可以认为将一个微波信号的幅值信息转换成一个基带信号。目前在太赫兹检波器方面,与国内相比,国外的研究相对成熟。所需要的太赫兹检波器或检波二极管大都从国外购买,成本较高,本文检波器设计所需管芯、电路、腔体等均由国内研究单位加工完成,因此具有极大的工程使用价值。论文详细地描述中科院微电子研究所制作的In P基肖特基势垒二极管,以及其加工工艺。进而利用该二极管的I-V特性曲线提取二极管本征参数,并根据二极管各层实际加工尺寸建立三维电磁模型以仿真二极管的寄生参数。在合理选取电路基片、传输线之后,将得到的二极管寄生参数,以SNP文件格式导入到等效电路仿真软件(ADS)中并结合SPICE模型建立起二极管完整参数模型。然后利用高频场仿真软件(HFSS)设计输入探针过渡等具有单独功能的子电路,结合二极管的完整参数模型利用ADS对整体非线性检波电路进行谐波平衡仿真,通过ADS与HFSS联合仿真优化得到检波器输入输出匹配结构,完成检波器整体电路设计。最后,对600GHz窄带太赫兹波导检波器进行了加工测试。由于二极管使用的是InGaAs/InP材料,具有较低的势垒,这大大提高了检波器的性能。在输入功率很小的情况时(约几十nW),电压响应灵敏度最小可达843mV/m W,最大值为1763mV/mW。本文所设计的波导检波器具有结构简单、体积小、成本低、性能高等特点,可用于成像、分子光谱、大气遥感等多种应用。