LY12CZ的氮等离子体浸没离子注入

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该文对LY12CZ进行了氮等离子体浸没离子注入处理(PⅢ)工艺的研究.在对灯丝发射电子建立气体放电等离子体、氩离子溅射清洗工艺参数进行优选的基础上,对PⅢ的主要工艺参数:注入电压、注入时间、注入脉冲宽度、注入脉冲频率设计了正交实验方案.注入剂量范围(3.92×10<,16>-8.23×10<17>ions/cm<2>).对样品进行了X光电子能谱(XPS)、腐蚀、显微硬度、摩擦磨损等测试,进而分析了各工艺参数对改性效果的影响.ⅢⅢ研究发展耐腐蚀、耐磨损性能的改善程度均随着注入剂量的增加而增大;当剂量超过一定值后缓慢下降.在该研究中,实验所获得的最佳工艺参数为:注入时间3h、注入电压频率300Hz、注入电压脉宽30μs、注入电压30kV.
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