【摘 要】
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针对微型机电系统中存在的摩擦问题,以及现有摩擦测试设备并不适用于研究微机电系统中的摩擦磨损现象。本文参考现有摩擦测试设备和微机电系统的工作条件设计了一台用于研究微小摩擦磨损测试的系统,该系统包含：往复运动系统；旋转运动系统；正压力载荷和摩擦力的测量系统；磨损在线检测系统；环境控制系统,具有的功能包含：正压力载荷的恒定施加；往复摩擦与连续摩擦测试；正压力载荷和摩擦力的测量；摩擦样件的磨损在线检测；温
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针对微型机电系统中存在的摩擦问题,以及现有摩擦测试设备并不适用于研究微机电系统中的摩擦磨损现象。本文参考现有摩擦测试设备和微机电系统的工作条件设计了一台用于研究微小摩擦磨损测试的系统,该系统包含：往复运动系统；旋转运动系统；正压力载荷和摩擦力的测量系统；磨损在线检测系统；环境控制系统,具有的功能包含：正压力载荷的恒定施加；往复摩擦与连续摩擦测试；正压力载荷和摩擦力的测量；摩擦样件的磨损在线检测；温湿度检测与控制温湿度的恒定。利用Lighttools软件验证光学位移放大理论的可行性,对水平簧片结构力学
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