磁控溅射法生成β-C<,3>N<,4>的化学动力学-热力学模型

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该文在实验文献的基础上,提出了一个简化的用氮气轰击石墨靶而生成碳氮膜的模型.当氮气轰击石墨靶时产生CN和N,它们的反应室的气相中并不反应,在到达衬底后才在衬底的表面上反应沉积形成薄膜.对应于三种薄摸结构,研究首先列出了一些可能的生长反应式,然后计算它们的反应吉布斯自由能,由此选出分别对应生长三种结构最可能的反应式.在此基础上研究人员提出了一个用磁控溅射法生成β-C<,3>N<,4>的简化模型.由这个模型所作的计算可以更有效地指导研究人员的试验工作,从而在未来制备出性能优良的碳氮膜.
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