电涡流位移传感器作为一种电感式传感器,以其结构简单、非接触无污染、频响速度快、性价比高等优点广泛应用于导电材料检测位移、厚度、缺陷等领域。随着涡流检测技术的不断发展,为了适应多变的环境和特殊的应用场合,对电涡流位移传感器性能的要求越来越高。本文以全金属位移传感器为研究对象,针对其应用过程中因增加金属封装外壳而出现的检测距离小、检测精度低、易受环境因素干扰(尤其是温度变化引起的温漂问题)等问题展开研究,分析了双线圈全金属涡流位移传感器的结构参数和温度对其性能的影响,并进行结构优化和抗温性处理。本文采用有限元仿真分析与实验验证相结合的方式,对一种新型的双线圈全金属电涡流位移传感器的激励信号、结构参数和抗温漂性进行了研究分析,主要做了以下几方面内容:(1)在常温下对双线圈全金属电涡流传感器探头结构等参数进行分析与优化。以轴对称结构为基准对传感器仿真模型进行了简化,以灵敏度为基准通过单因子变量法和正交实验法两种方法分别对激励信号、金属外壳、金属安装支架等因素进行了对比分析与优化,得出在常温状态下的双线圈全金属电涡流传感器的优化探头结构参数。(2)在高低温(温度变化范围-30℃~90℃)状态下,研究了双线圈全金属电涡流位移传感器输出信号随温度和检测距离变化的规律,分析了输出信号产生温度漂移的原因,并对探头的线圈内阻、外壳结构和屏蔽环的长度、厚度等参数进行温度补偿分析。结果表明,对温漂影响因素进行补偿后,在特定条件下存在温度不变点现象,通过对该现象的不断研究与完善可以有效减小温度变化的影响。(3)搭建常温和高低温交变两种条件下的实验平台,通过实验对仿真结果进行验证。将实验结果和仿真结果进行比对分析,结果表明在常温下可以通过选择合适的激励频率、探头结构参数得到一种优化涡流位移传感器探头结构,将优化后的探头结构应用在变化温度下,通过对线圈内阻补偿、合理设置激励频率和屏蔽环参数的方式得到一种可以解决温漂问题的方法。