自改革开放以来，作为世界上最大的发展中国家，中国也是世界上吸收外商直接投资的最快的国家之一。随着外资投资数量的增加，外商投资企业在中国的经济地位不断提高，为中国经济增长、产业结构调整、就业增加等做出了不可忽视的贡献。而作为全要素生产率重要组成部分的技术效率是各种投入要素综合效率的度量，其研究对中国现阶段经济发展具有重要的现实指导意义。但有关FDI对技术效率影响方面的研究，因为数据和理论方面的限制，却一直没有受到学界的重视，相关领域的文献不仅数量稀少而且不同学者的观点分歧较大。本文利用广东省工业行业面板数据实证分析了在控制相关国内变量的条件下，FDI对內资技术效率的总体影响以及FDI不同溢出效应渠道对技术效率的影响。首先使用Malmquist指数法测度了广东省1999-2004年28个规模以上工业行业的技术效率，其次在引入国有化比例、竞争程度、劳动生产率水平三个国内变量的基础上，利用面板数据模型回归分析了FDI总量对技术效率的影响，表明外资投入总量会对内资技术效率产生负向影响，然后使用外资销售收入比重和就业人数比重代表外资溢出效应的竞争效应和人员流动效应，分别考察外资影响的不同途径对当地技术效率水平的影响，发现外资带来的竞争效应有利于国内企业技术效率的提高，但是外资对优秀人才更强的吸引力导致逆向人才流动从而产生负向影响；最后将行业分为资本密集型和劳动密集型行业，比较分析对于不同行业FDI影响的不同，结果显示外资带来的竞争效应对劳动密集型行业技术效率的贡献要高于对资本密集型行业的贡献，相反内外资企业之间的人员流动对劳动密集型行业的不利程度更甚于资本密集型行业。三类回归中国有化程度均显著抑制技术效率的增长，行业的竞争程度和劳动省生产率水平会在一定条件下起到促进作用。根据回归结果，本文提出对外资建立公平竞争的市场机制，完善各种人才激励措施，取消外资超国民待遇，坚定国有企业改革方向等相关的政策建议。