复合式分子泵集两种泵的优点于一体,在很宽的压力范围内(10-6～1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。复合分子泵转子加工对机床、加工工艺及数控编程等数控技术都有很高的要求。复合分子泵的转子的加工已经成为了制约国内复合分子泵发展的最直接的障碍。数控技术是机械加工现代化和军事工业发展的重要基础与关键技术。应用数控加工可大大提高生产率、稳定加工质量、缩短加工周期、增加生产柔性、实现对各种复杂精密零件的自动化加工。本文通过查阅大量文献资料,以目前国际上先进的"CAD/CAM/CAE"一体化机械工程辅助系统——UGNX为工具,完成了复合分子泵的三维建模、编程及虚拟加工仿真。具体内容包括：首先,对目前涡轮分子泵的三种形式的叶片进行加工工艺分析,完成整体转子的三维建模。然后,对整体转子进行加工工艺分析,完成加工工艺卡片的编制,应用UG/CAD模块完成了毛坯、夹具及机床的几何体的参数化建模。在此基础上,利用UG/CAM模块进行整体叶片铣削工序的数控编程,优化了加工路线、刀具轨迹,切削方式等工艺参数,生成了五坐标加工的高精、高效的NC程序。通过刀轨检查过切和欠切。通过专业加工过程仿真软件VERICUT仿真实际的加工环境及机床、刀具的动作避免干涉优化加工程序。对加工精度进行分析,提出了具体的提高加工精度的方法。