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20世纪后半叶，随着大规模集成电路技术和微制造技术的发展，出现了微型机电系统(MEMS)，并且迅速成为当今最有生命力和最具发展前景的机械科学研究的前沿领域。 微机电系统界面之间的摩擦属于微观摩擦范围，其加载通常在微牛和毫牛之间，这是一个介于宏观和微观测量范围之间的一个量。一方面，现有的设备不是测量时加载的力过大(如环块销盘实验机)，就是加载的力过小(如AFM原子力显微镜)，而没有适合这一测量范围的标准化测试仪器；另一方面，现有的设备不能较准确地反映微机械的实际工况，如速度