【摘 要】
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该论文主要论述了用于测量非球面的二维相移剪切干涉仪光学系统的调试与改进,标定了压电陶瓷驱动器,编写了标定程序和二维相移剪切干涉图的实时采集与处理程序.改进后的光学
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该论文主要论述了用于测量非球面的二维相移剪切干涉仪光学系统的调试与改进,标定了压电陶瓷驱动器,编写了标定程序和二维相移剪切干涉图的实时采集与处理程序.改进后的光学系统能方便的实现两个方向的剪切,使调校变得比较简单易行.通过对光学系统的改进、调试以及对压电陶瓷驱动器的标定,使得高精度的测量任意非球面面形成为可能,这种装置和片是方法在国内尚属首次采用.在实验中,研究小组对一个球面进行了实际测量,检验了处理二维相移剪切干涉图处理程序的可靠性,得到该测量系统的最大波差P-V值为0.1582λ,基本满足课题要求的面形检测精度低于0.1μm的精度要求.通过实验证明该论文采用的装置简单合理,标定准确,采集和处理速度快、实用强,实现了完全自动化,该装置和测量方法对将来实现大批量测量和加工非球面很大实际意义.
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