随着互联网产业与人工智能技术高速发展,各领域中的产品小型化、集成化、智能化趋势愈发明显,在采用微加工技术制造出具有良好表面的高精度微结构时,遇到了前所未有的挑战。而在微细电解加工技术中,加工区域电解液的更新成为提高加工质量的关键因素。本文提出超声振动辅助微细电解线切割技术,以其独特的优势,利用超声振动解决极窄加工间隙传质问题,优化加工环境,提高加工精度与表面质量。主要研究内容如下:(1)完成超声振动辅助微细电解线切割技术的机理研究。建立了高频脉冲微细电解线切割数学模型,指出了决定微缝成型的影响因素,并通过有限元仿真分析了微缝成型过程及超声振动对加工间隙流场速度及压力的影响规律。(2)进行螺旋电极微细电解线切割试验研究。设计搭建了超声振动辅助微细电解加工平台,通过正交试验及单因素对比试验,研究了各加工参数对加工质量的影响规律。对比有无超声振动辅助的两种加工情况,验证了超声振动对微细电解加工的辅助优化作用。选取合适的超声加工参数,完成了多个微细部件及微型连接件的加工,加工精度与表面质量都有提高,突显了超声振动辅助微细电解线切割的加工能力。(3)进行线电极微细电解线切割试验研究。提出了工件振动和工具振动两种超声振动辅助方案,研究了超声振幅对加工精度及表面质量的影响规律,通过试验过程分析与试验结果对比,证明了工件振动加工质量要优于工具电极振动。最后使用工件超声振动方案,优化加工参数,成功加工了阵列微缝及高深宽比微缝结构,并完成小模数微齿轮的加工,加工精度高,表面质量好。(4)使用超声振动辅助微细电解线切割技术进行应用研究。将此技术应用于多孔金属材料的切割与薄壁管电极的加工,与其他加工技术进行对比,体现其在特种加工领域的优越性,加快其工业化进程。