【摘 要】
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该文研究了VO的相变特性.首先分析了其相变机理,然后我们选择一定的参数制备了VO薄膜.VO研究的难点在于怎样制备纯度高的VO薄膜以及改变它的相变温度.为了提高纯度我们对制备
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该文研究了VO<,2>的相变特性.首先分析了其相变机理,然后我们选择一定的参数制备了VO<,2>薄膜.VO<,2>研究的难点在于怎样制备纯度高的VO<,2>薄膜以及改变它的相变温度.为了提高纯度我们对制备好的VO<,2>薄膜做了退火处理,对它做了XPS测试,在退火前后分别拟合了其组成成分,对拟合结果做了对比,分析了退火对VO<,2>薄膜组成成分的影响.通过掺杂可以改变VO<,2>薄膜的相变温度.最后我们做实验测试了它在相变前后的透过率,由透过率的变化看出我们所制备的VO<,2>薄膜发生了相变.
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