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光学系统对光学平面面型精度的要求越来越高,对其相应的检测技术也提出了更加苛刻的要求。在光学平面检测中,传统的利用干涉仪直接对平面进行检测属于相对检测,检测精度很大程度上依赖平面标准镜面型。一般来说,其检测精度为λ/20—λ/50,而对于更高要求的检测精度则需要通过绝对检测技术实现。绝对检测技术通过对光学平面进行多次检测,能够有效的去除参考标准镜的面型影响,并还原被测平面的面型,实现高精度的面型检测。基于Zernike拟合的三平面互检法是在传统三平面互检法的基础上所建立的一种的绝对检测技术,由于其操作