【摘 要】
:
激光在我国农业、工业、国防等领域内有着非常重要的作用。随着激光技术的飞速发展,对激光能量测量精度的要求也越来越严格。我国目前准备研制的193nm光刻系统中对于其工作线
论文部分内容阅读
激光在我国农业、工业、国防等领域内有着非常重要的作用。随着激光技术的飞速发展,对激光能量测量精度的要求也越来越严格。我国目前准备研制的193nm光刻系统中对于其工作线宽要求实现90nmm以下,对于其检测仪器就提出了更高的要求,尤其是在对光源的能量检测上尤为重要。本文通过对目前国内外激光能量测量、波形测量以及相位探测方法等进行了分析比对,指出了它们的优缺点。针对193nm激光能量测量提出了一种基于波前相差检测的精确测量方法,通过大量的理论分析与研究,验证了该方法的可行性,并且同时指出了利用本方法进行测量时的影响最终能量测量的误差因素。本论文的主要工作主要包括:通过对相关文献的查阅,总结了目前单脉冲能量测量的方法,并且对其进行了比对分析,指出通过传统的能量测量方法是不能够达到精确测量193rnm激光单脉冲能量,因此需要探索一种高精度测量激光脉冲能量的方法,也就是本文提出的基于波前相差检测的方法进行激光脉冲能量的测量。与此同时,本人积极的与相关公司技术人员进行了探讨,在数据采集卡方面,由于最终的能量是通过积分得到的,所以对数据采集卡的采样率以及分辨率有着较高的要求,因此对于数据采集卡需要进行严格的限制。在以上工作的前提下,通过软件进行了数据处理工作,得出了单脉冲能量测量非常重要的结论,比如当波相差很小的时候,光强的波动和位相的波动是一致的,在最终波相差计算的时候光强的取值需要进行统计学上的计算等结论对193nm激光光源设计者来讲是非常有利用价值的。
其他文献
Yb离子固体激光器兴起于上世纪九十年代,是随着半导体激光器的发展逐渐发展起来的。准三能级激光器作为一种不同于四能级的激光器,其振荡激光特性比较丰富,值得我们去仔细研
当前,发达国家几乎都在推进教师教育改革。教师教育不仅取代了传统的师范教育而且获得了前所未有的发展,主要体现为以国家为主导的教师教育制度,以教师为中心的教师教育模式,
以铁皮石斛去根苗为试材,研究了外源精胺(Spm)对离体铁皮石斛花芽分化过程中内源游离多胺含量的影响.在添加14.5mg/L Spm的MS培养基上培养铁皮石斛去根苗的花芽分化率为15.0%
以TGF-β、CTGF为代表的细胞因子在肾小球硬化过程中起重要作用,拮抗细胞因子的不良作用已成为防治肾小球硬化、延缓肾小球疾病进展中的重要环节。因此,加强对肾小球硬化相关细
反美主义是近些年国内外学者研究的热门话题,这与冷战后反美主义在全球范围内的兴起与高涨有密切的关系。与冷战结束前相比,冷战后的反美主义不管在范围还是在强度上都超越了
日本企业的管理方法和现状第二次世界大战结束以前,日本企业的经营管理手法,主要是在以财阀(三井、三菱、住友等)为中心的大企业当中采取单纯模仿欧美的经营管理手法,主要实
目的了解上海市部分二级、三级医院产科母乳喂养的现状。方法采用方便抽样法选取2009年10月至2010年2月上海市14所二级、三级专科及综合性医院产科的214名产妇,自行设计调查
告地策是我国秦汉时期的一种丧葬私文书,其名始于黄盛璋《关于江陵凤凰山168号墓的几个问题》一文,后来为学术界所广泛认可并沿用。告地策随葬墓中的习俗流行于西汉早期,它记
本文以"澳门新葡京酒店‘8’餐厅"为例,用符号学的观念解读环境设计,对空间环境中符号的建构和意义的阐释作出分析,以便为空间环境设计提供一种符号学的视角和方法。
本论文工作主要围绕以下项目展开:国家自然科学基金项目(项目编号:61167005);甘肃省自然科学基金项目(项目编号:1112RJZA017);甘肃省自然科学基金项目(项目编号:1112RJZA018)。在单