激光在我国农业、工业、国防等领域内有着非常重要的作用。随着激光技术的飞速发展,对激光能量测量精度的要求也越来越严格。我国目前准备研制的193nm光刻系统中对于其工作线宽要求实现90nmm以下,对于其检测仪器就提出了更高的要求,尤其是在对光源的能量检测上尤为重要。本文通过对目前国内外激光能量测量、波形测量以及相位探测方法等进行了分析比对,指出了它们的优缺点。针对193nm激光能量测量提出了一种基于波前相差检测的精确测量方法,通过大量的理论分析与研究,验证了该方法的可行性,并且同时指出了利用本方法进行测量时的影响最终能量测量的误差因素。本论文的主要工作主要包括：通过对相关文献的查阅,总结了目前单脉冲能量测量的方法,并且对其进行了比对分析,指出通过传统的能量测量方法是不能够达到精确测量193rnm激光单脉冲能量,因此需要探索一种高精度测量激光脉冲能量的方法,也就是本文提出的基于波前相差检测的方法进行激光脉冲能量的测量。与此同时,本人积极的与相关公司技术人员进行了探讨,在数据采集卡方面,由于最终的能量是通过积分得到的,所以对数据采集卡的采样率以及分辨率有着较高的要求,因此对于数据采集卡需要进行严格的限制。在以上工作的前提下,通过软件进行了数据处理工作,得出了单脉冲能量测量非常重要的结论,比如当波相差很小的时候,光强的波动和位相的波动是一致的,在最终波相差计算的时候光强的取值需要进行统计学上的计算等结论对193nm激光光源设计者来讲是非常有利用价值的。