【摘 要】
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光刻机工件台的精确定信是实现分步投影光忘我前提.它涉及到测量、控制以及测控对象(工件台)本身的设计等理论和技术.定位精度是一个光、机、电的综合指标,其中尤以测量更为
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光刻机工件台的精确定信是实现分步投影光忘我前提.它涉及到测量、控制以及测控对象(工件台)本身的设计等理论和技术.定位精度是一个光、机、电的综合指标,其中尤以测量更为关键.目前国际上普遍采用的测量系统是双频干涉仪.比较器是实现测量和控制的枢纽.它的特点有:(1)要求的运算速度高;(2)是纯数字系统.针对这样两个特点,研究人员应用CPLD(Complex Programmable Logic Device)设计制作了比较器.经实际在i线曝光机上装机使用,证明其有很好的实用性和可推广性.论文针对设计、调试的每个环节,分别论述了测量、控制、工件台的设计要素和理论基础,以及CPLD的结构、原理和现代电子线路的有关设计理论.
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